目前國內(nèi)生產(chǎn)的加速器等其它極高真空設(shè)備,需要用到一種全金屬靜密封超高真空閥門,目前該閥門只能從國外發(fā)達國家進口,價格昂貴,且受到諸多限制。現(xiàn)公司正在研發(fā)這種全金屬靜密封超高真空閥門,以打破國外壟斷市場,提升企業(yè)的市場競爭力。
該全金屬靜密封超高真空閥門需要達到以下技術(shù)要求:
1、該閥門的材料需選用金屬材料;
2、閥門在優(yōu)于1×10-6Pa真空狀態(tài)下,重復定位精度0.01mm以上;
3、閥門重復次數(shù)1萬~10萬次,且性能可靠;
4、閥門真空密封1×10-9pa以上;
5、閥門真空漏率1×10-12pa.l/以上;
6、閥門能在350℃高溫下正常運行;
7、性價比不超過同類進口閥門產(chǎn)品。
公司擁有專業(yè)的實驗平臺、專用檢測設(shè)備,及專業(yè)科研團隊,現(xiàn)已有初步設(shè)計方案,并且取得了部分實驗數(shù)據(jù),公司已投入研發(fā)資金100萬以上。