半導體制造設(shè)備需要用到一種高潔凈度的真空插板閥，型號：DN40；材質(zhì)：鋁。該閥門通過電動來實現(xiàn)閥門開閉，所有運動機構(gòu)需要與閥體內(nèi)腔氣體隔絕，以防止運動摩擦產(chǎn)生顆粒對內(nèi)腔氣體污染，且使用工況對閥門打開時需實現(xiàn)“真正的直通”。閥門需滿足使用溫度≤150℃，潔凈度達到國標1級，首次保養(yǎng)次數(shù)≥1百萬次，閥門開閉時間≤1s，整體漏率≤2×10^-8Pa·L/s，壓力1*10⁵pa~1*10^-6pa。

目前已完成相關(guān)專利查閱工作，正處于方案設(shè)計階段。

投入人力：設(shè)計研發(fā)團隊和試制調(diào)測團隊。

生產(chǎn)條件：已經(jīng)有用于半導體行業(yè)的閥門小批量生產(chǎn)。