中科九微科技有限公司研發(fā)的真空設(shè)備，高壓軸承腔和低壓軸承腔溫差達(dá)100攝氏度，溫差導(dǎo)致軸距差異顯著，造成卡死；主要原因是目前采用的普通鑄鐵，其膨脹系數(shù)較大，達(dá)到了12.6ppm/℃，泵體溫差導(dǎo)致熱應(yīng)力扭曲變形嚴(yán)重，也是運(yùn)行卡死的原因；技術(shù)需求如下

1.高鎳球墨鑄鐵材料其熱熱膨脹系數(shù)應(yīng)到達(dá)6.7~6.9ppm/℃

2.耐酸堿腐蝕

1.現(xiàn)有能力，實(shí)用普通球鐵材料，采用溫度補(bǔ)償方式試驗(yàn)，需要多組試驗(yàn)（交叉軸承腔，泵體，轉(zhuǎn)子多因子多水平）復(fù)雜耗時長，可能最終失敗

2.通過測量邊界條件&有限元熱流耦合計(jì)算合適的間隙，可能需要損失產(chǎn)品性能。