氫傳感器技術(shù)
英國女王貝爾法斯特大學(xué)(QUB)研制的這項(xiàng)新設(shè)備目前在位于謝菲爾德的EPSRC國家III-V實(shí)驗(yàn)室制造。基本器件是將一個(gè)很薄的Pd條(長(zhǎng)度〜160μm,寬度〜4μm且厚度<10nm)沉積在一個(gè)n-InP襯底上。該設(shè)備可以被定制用于〜10秒時(shí)間尺度、氫水平〜1%的檢測(cè)。該器件在標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體加工設(shè)備采用標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)制造,因此低成本是其突出特點(diǎn)。即使在非常溫和的光刻分辨率下(例如線寬度為4μm),也可生成非常有效的設(shè)備。
技術(shù)成熟度:實(shí)驗(yàn)室成果
外方提議合作方式:合作研究或技術(shù)許可的方式合作。