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氫傳感器技術(shù)
時(shí)間:2013-06-07 00:00:00 來源:本站原創(chuàng) 字號(hào):[ ]

氫傳感器技術(shù)

英國女王貝爾法斯特大學(xué)(QUB)研制的這項(xiàng)新設(shè)備目前在位于謝菲爾德的EPSRC國家III-V實(shí)驗(yàn)室制造。基本器件是將一個(gè)很薄的Pd條(長(zhǎng)度160μm,寬度4μm且厚度<10nm)沉積在一個(gè)n-InP襯底上。該設(shè)備可以被定制用于10秒時(shí)間尺度、氫水平1%的檢測(cè)。該器件在標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體加工設(shè)備采用標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)制造,因此低成本是其突出特點(diǎn)。即使在非常溫和的光刻分辨率下(例如線寬度為4μm),也可生成非常有效的設(shè)備。

技術(shù)成熟度:實(shí)驗(yàn)室成果

外方提議合作方式:合作研究或技術(shù)許可的方式合作。

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